GB50472-2008：电子工业洁净厂房设计规范

本规范共分15章和4个附录。主要内容有:总则、术语、电子产品生产环境设计要求、总体设计、工艺设计、洁净建筑设计、空气净化和空调通风设计、给水排水设计、纯水供应、气体供应、化学品供应、电气设计、防静电与接地设计、噪声控制、微振控制等。

GB50472-2008······1

1 总则······10

2 术语······11

3 电子产品生产环境设计要求······15

3.1 一般规定······15

3.2 生产环境设计要求······15

4 总体设计······17

4.1 位置选择和总平面布置······17

4.2 洁净室型式······18

4.3 洁净室布置和综合协调······18

5 工艺设计······20

5.1 一般规定······20

5.2 工艺布局······20

5.3 人员净化······21

5.4 物料净化······22

5.5 设备及工器具······22

6 洁净建筑设计······24

6.1 一般规定······24

6.2 防火和疏散······25

6.3 室内装修······26

7 空气净化和空调通风设计······28

7.1 一般规定······28

7.2 气流流型和送风量······29

7.3 净化空调系统······30

7.4 空气净化设备······30

7.5 采暖、通风······32

7.6 排烟······34

7.7 风管、附件······34

8 给水排水设计······36

8.1 一般规定······36

8.2 给水······36

8.3 排水······37

8.4 雨水······37

8.5 消防给水和灭火设备······37

9 纯水供应······39

9.1 一般规定······39

9.2 纯水系统······39

9.3 管材、阀门和附件······40

10 气体供应······41

10.1 一般规定······41

10.2 常用气体系统······42

10.3 干燥压缩空气系统······44

10.4 特种气体系统······44

11 化学品供应······46

11.1 一般规定······46

11.2 化学品储存、输送······46

11.3 管材、阀门······48

12 电气设计······49

12.1 配电······49

12.2 照明······50

12.3 通信与安全保护装置······51

12.4 自动控制······53

12.5 接地······53

13 防静电与接地设计······55

13.1 一般规定······55

13.2 防静电措施······55

13.3 防静电接地······57

14 噪声控制······58

14.1 一般规定······58

14.2 噪声控制设计······58

15 微振控制······60

15.1 一般规定······60

15.2 容许振动值······60

15.3 微振动控制设计······60

附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求······62

附录B 电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例······64

附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例······65

附录D 洁净室（区）性能测试和认证······66

本规范用词说明······74

附:条文说明······75

1 总则······79

3 电子产品生产环境设计要求······80

3.1 一般规定······80

3.2 生产环境设计要求······82

4 总体设计······93

4.1 位置选择和总平面布置······93

4.2 洁净室型式······95

4.3 洁净室布置和综合协调······98

5 工艺设计······100

5.1 一般规定······100

5.2 工艺布局······100

5.3 人员净化······102

5.4 物料净化······104

5.5 设备及工器具······105

6 洁净建筑设计······108

6.1 一般规定······108

6.2 防火和疏散······109

6.3 室内装修······115

7 空气净化和空调通风设计······117

7.1 一般规定······117

7.2 气流流型和送风量······118

7.3 净化空调系统······121

7.4 空气净化设备······124

7.5 采暖、通风······126

7.6 排烟······128

7.7 风管、附件······129

8 给水排水设计······131

8.1 一般规定······131

8.2 给水······132

8.3 排水······133

8.4 雨水······134

8.5 消防给水和灭火设备······134

9 纯水供应······136

9.1 一般规定······136

9.2 纯水系统······137

9.3 管材、阀门和附件······138

10 气体供应······140

10.1 一般规定······140

10.2 常用气体系统······143

10.3 干燥压缩空气系统······145

10.4 特种气体系统······146

11 化学品供应······149

11.1 一般规定······149

11.2 化学品储存、输送······150

11.3 管材、阀门······152

12 电气设计······154

12.1 配电······154

12.2 照明······155

12.3 通信与安全保护装置······156

12.4 自动控制······159

12.5 接地······160

13 防静电与接地设计······162

13.1 一般规定······162

13.2 防静电措施······162

13.3 防静电接地······164

14 噪声控制······166

14.1 一般规定······166

14.2 噪声控制设计······166

15 微振控制······168

15.1 一般规定······168

15.2 容许振动值······168

15.3 微振动控制设计······169