GB51136-2015：薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范

本规范共分14章和2个附录,主要内容包括总则,术语,基本规定,工艺,厂址选择及总体规划,建筑,结构,气体动力,供暖、通风、空气调节与净化,给水排水,电气,防静电,化学品,空间管理等。

GB51136-2015······1

1 总则······13

2 术语······14

3 基本规定······16

4 工艺······17

4.1 一般规定······17

4.2 基本工序······17

4.3 工艺区划······17

4.4 设备配置······18

5 厂址选择及总体规划······20

5.1 厂址选择······20

5.2 总体规划······20

6 建筑······22

6.1 一般规定······22

6.2 防火及安全疏散······22

7 结构······25

7.1 一般规定······25

7.2 厂房结构设计······25

7.3 微振动控制标准······26

7.4 微振动控制设计及测试······27

7.5 基座平台设计······27

8 气体动力······29

8.1 冷、热源······29

8.2 大宗气体供应······30

8.3 特种气体供应······31

8.4 压缩空气供应······33

8.5 工艺真空和清扫真空······34

9 供暖、通风、空气调节与净化······35

9.1 一般规定······35

9.2 采暖、通风与废气处理······35

9.3 空气调节与净化······38

9.4 防排烟······40

10 给水排水······41

10.1 一般规定······41

10.2 一般给水排水······41

10.3 纯水······42

10.4 工艺冷却循环水······42

10.5 废水······43

10.6 消防给水及灭火设施······43

11 电气······45

11.1 供配电与照明······45

11.2 防雷与接地······46

11.3 火灾报警及消防联动······46

11.4 通信及自控······48

12 防静电······49

12.1 一般规定······49

12.2 防静电措施······50

12.3 防静电接地······51

13 化学品······53

13.1 一般规定······53

13.2 化学品储存和配送······53

13.3 管材、阀门······56

13.4 化学品废液收集团收······56

14 空间管理······58

14.1 一般规定······58

14.2 管线布置······59

14.3 共用管道支、吊架······60

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程······61

附录B 微振动标准VC曲线······63

本规范用词说明······65

引用标准名录······66

附: 条文说明······68