本规范共分14章和2个附录,主要内容包括总则,术语,基本规定,工艺,厂址选择及总体规划,建筑,结构,气体动力,供暖、通风、空气调节与净化,给水排水,电气,防静电,化学品,空间管理等。
GB51136-2015······1
1 总则······13
2 术语······14
3 基本规定······16
4 工艺······17
4.1 一般规定······17
4.2 基本工序······17
4.3 工艺区划······17
4.4 设备配置······18
5 厂址选择及总体规划······20
5.1 厂址选择······20
5.2 总体规划······20
6 建筑······22
6.1 一般规定······22
6.2 防火及安全疏散······22
7 结构······25
7.1 一般规定······25
7.2 厂房结构设计······25
7.3 微振动控制标准······26
7.4 微振动控制设计及测试······27
7.5 基座平台设计······27
8 气体动力······29
8.1 冷、热源······29
8.2 大宗气体供应······30
8.3 特种气体供应······31
8.4 压缩空气供应······33
8.5 工艺真空和清扫真空······34
9 供暖、通风、空气调节与净化······35
9.1 一般规定······35
9.2 采暖、通风与废气处理······35
9.3 空气调节与净化······38
9.4 防排烟······40
10 给水排水······41
10.1 一般规定······41
10.2 一般给水排水······41
10.3 纯水······42
10.4 工艺冷却循环水······42
10.5 废水······43
10.6 消防给水及灭火设施······43
11 电气······45
11.1 供配电与照明······45
11.2 防雷与接地······46
11.3 火灾报警及消防联动······46
11.4 通信及自控······48
12 防静电······49
12.1 一般规定······49
12.2 防静电措施······50
12.3 防静电接地······51
13 化学品······53
13.1 一般规定······53
13.2 化学品储存和配送······53
13.3 管材、阀门······56
13.4 化学品废液收集团收······56
14 空间管理······58
14.1 一般规定······58
14.2 管线布置······59
14.3 共用管道支、吊架······60
附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程······61
附录B 微振动标准VC曲线······63
本规范用词说明······65
引用标准名录······66
附: 条文说明······68
